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        典型的硬拋過程—藍寶石襯底銅拋

        硬拋一般指的是使用硬質研磨盤(邵氏硬度在80-90之間:如樹脂銅盤、純銅盤等),搭配鉆石拋光液,對藍寶石襯底、窗口片、光學晶體或者化合物半導體襯底材料(如碳化硅、砷化鎵等)等進行快速拋光的一種工藝。

        一、國瑞升高效硬拋工藝是什么

        國瑞升高效硬拋工藝主要包括復合金屬研磨盤高效鉆石拋光液,以及針對不同行業客戶所開發的工藝參數和使用方法。

        復合金屬研磨盤  高效鉆石拋光液

                                復合金屬研磨盤                                             高效鉆石拋光液


        二、國瑞升高效硬拋工藝的應用

        2.1 高效硬拋工藝的典型應用—LED藍寶石襯底

         

        2.2 高效硬拋工藝的典型應用—LED芯片背面拋光

         

        2.3 高效硬拋工藝的其他典型應用

         

        三、國瑞升高效硬拋方案特色

        3.1 復合金屬研磨盤與高效鉆石液的搭配針對LED藍寶石片可以實現超過3.0um/min的超高速率,突破以往水性鉆石拋光液的速率極限。

        3.2 復合金屬研磨盤新工藝可以實現產能提升,減少機臺設置和占地面積。

        3.3 復合金屬研磨盤與高效鉆石液的搭配可以在實現高移除率的同時降低研磨溫度,從而減少研磨盤消耗,增加研磨盤的使用壽命。

         

        四、高效硬拋工藝的優勢——移除率高

        實驗速率um/min  平均速率 
        高效硬拋工藝  2.6 2.4 2.5 2.7 2.5 2.575
        現有工藝移除率  2.15 2 2 2 2.15 2.15

         

         

        五、國瑞升高效硬拋工藝與現有工藝優勢對比—4寸LED芯片拋光

        對比項目  現有工藝  高效硬拋工藝 效果提升 
        單次加工量  20  28  產能提高40% 
        移除率  2.15um/min  2.575um/min  速率提升20% 
        Ra  8-12nm  8-12nm 
        鉆石液消耗  10ml/  7ml/  鉆石液節約30% 

         

         


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